CRF plasma 等離子清洗機
    
                        
    
                            
    
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      等離子體處理技術已是一種不可替代的成熟工藝
      
                        
      
                            在IC芯片制造領域中，等離子體處理技術已是一種不可替代的成熟工藝，不論在芯片源離子的注入，還是晶元的鍍膜，亦或是我們的低溫等離子體表面處理設備所能達到的：在晶元表面去除氧化膜、有(機)物、去掩膜等超凈化處理及表面活(化)提高晶元表面浸潤性。                        
      
                        
      
                            
      
                                
      等離子體處理
      
                                
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